반도체 공장에서는 막대한 양의 초순수(UPW)를 소비합니다. 공정 용수를 재활용하는 것은 경제적이고 환경적으로 꼭 필요한 일이지만 재활용 루프의 열 교환기는 수질을 저하시켜서는 안 됩니다. 단일 금속 이온 스파이크가 UPW 시스템을 오염시켜 웨이퍼 품질과 전체 제조 공정을 손상시킬 수 있습니다.불소중합체 열교환기재활용 과정에서 이온이나 입자가 다시 유입되지 않도록 함으로써 이러한 고순도 물 시스템의 무결성을 유지하는 데 중요한 역할을 합니다.-
반도체 공장에서 UPW 재활용의 중요성
반도체 제조에서 UPW는 웨이퍼 세척, 냉각 및 헹굼에 광범위하게 사용됩니다. 이러한 공정에서 물 소비량이 높다는 점을 고려하여 팹에서는재활용 루프물을 재생 및 재사용하여 비용을 절감하고 환경에 미치는 영향을 최소화합니다. 웨이퍼 세척 작업에서 나오는 헹굼수는 수집, 정화되어 시스템으로 반환됩니다. 그러나 재사용하기 전에 재연마 또는 추가 세척 전과 같이 필요한 공정 조건에 맞게 재활용된 물을 가열하거나 냉각해야 하는 경우가 많습니다.-
그만큼열교환기이 재활용 루프에는 오염에 대한 최종 방어선이 있습니다. 공정 전반에 걸쳐 물의 순도를 유지해야 하며 금속 이온이나 입자가 시스템으로 다시 침출되지 않도록 해야 합니다. 이로 인해 물의 저항력이 손상되고 다음 생산 단계에서 오염이 발생할 수 있습니다.
불소중합체 열교환기의 역할
재활용 루프의 순수성 보장
불소중합체 열교환기엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다.고순도-물 재활용반도체 공장에서.PFA(퍼플루오로알콕시)그리고PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌)우수한 내화학성과 불활성 특성을 지닌 소재를 선택하여 오염 물질이 재활용수로 침출되는 것을 방지하는 데 이상적입니다. 이러한 물질은 완전히 불활성이며 금속 이온이나 입자를 물에 도입하지 않습니다. 이는 물의 유지에 매우 중요합니다.18메가옴-센티미터 저항반도체 산업 표준에서 요구하는 사항입니다.
사용하여모든-PFA 또는 PTFE 쉘-및-튜브 교환기, 재활용 루프의 열 교환기는 다음을 제공합니다.금속이 없는-표면수질에 영향을 주지 않는 것입니다. 이는 다음을 보장합니다.재활용된 UPW다음에 설명된 엄격한 지침을 충족합니다.세미 F63이는 마이크로 전자공학 제조에 사용되는 물의 순도 요구 사항을 관리합니다.
불소중합체 교환기의 장점
불활성 및 화학적 호환성: 불소중합체 교환체는 반도체 공정에서 일반적으로 사용되는 광범위한 화학물질과 산에 대한 내성을 갖습니다. 성능 저하 없이 공격적인 화학 물질을 견딜 수 있는 능력은 재활용 과정 전반에 걸쳐 UPW의 품질이 유지되도록 보장합니다.
제로 이온 또는 입자 방출: 불소중합체 교환기는 금속 이온을 용출하거나 입자를 방출하지 않습니다.고순도-수 시스템매우 낮은-이온 및 미립자 오염 수준이 요구되는 제품입니다. 이 기능은저항력물의 양은 최적의 수준으로 유지됩니다.
내구성: 불소수지는 내구성이 뛰어나고 부식에 강하여-반도체 제조실 열교환기의 장기적인 신뢰성을 보장합니다. 부식이 없으면 장비의 수명이 연장되고 유지 관리 빈도가 줄어듭니다. 이는 재활용 시스템의 효율성에 매우 중요합니다.
반도체 UPW 시스템의 순도 요구 사항
반도체 공장에 사용되는 고순도-물은 매우 엄격한 기준을 충족해야 합니다. 물의 저항력은 다음을 초과해야 합니다.18메가옴-센티미터, 이온 및 미립자 오염 수준은 절대 최소로 유지되어야 합니다. 에 따르면SEMI F63 지침, 이는 에 대한 표준입니다.마이크로 전자공학 물, 물에는 이물질이 없어야합니다금속 이온및 반도체 제조 공정을 방해할 수 있는 기타 불순물.
불소중합체 소재는 금속 이온 및 입자 침출에 대한 저항력이 있기 때문에,불소중합체 열교환기이는 고순도 수처리 시스템에서 이러한 순도 수준을 유지하기 위한 표준입니다.-
순도 요구사항
반도체공장에서는UPW의 순도가장 중요합니다. 물은 다음 기준을 충족해야 합니다.
비저항: 18메가옴-센티미터 이상
총유기탄소(TOC): <50 ppb
미립자 수: 입자 크기에 대한 엄격한 제한(예: 0.1 µm 이상)
이온 오염: 나트륨, 칼륨, 칼슘 등 미량의 금속이온을 관리해야 합니다.
불소중합체 열교환기는 열 전달 유체와 고순도 물 사이에 완전히 불활성인 인터페이스를 제공하여 이러한 요구 사항을 달성하는 데 필수적입니다.{0}} 재활용과 관련된 가열 및 냉각 과정 전반에 걸쳐 물의 순도를 유지하여 오염을 방지합니다.
결론
불소수지 열교환기는 필수 구성 요소입니다.고순도-물 재활용반도체 공장의 시스템. 이러한 교환기는 금속 이온 및 입자 오염을 방지하여 재활용된 초순수가 다음과 같은 엄격한 요구 사항을 충족하도록 보장합니다.저항력그리고 순수함. 수질을 유지함으로써,불소중합체 교환기반도체 제조의 지속 가능성을 지원하여 공장에서 공정 품질을 저하시키지 않고 물을 재활용할 수 있도록 합니다. 반도체 공장이 지속적으로 확장됨에 따라 고성능-에 대한 수요가 증가하고 있습니다.물 관리시스템은 계속 성장할 것이므로 열 교환기에 적합한 재료를 선택하는 것은 시스템의 장기적인 효율성과 순도를 보장하는 데 중요한 고려 사항입니다.-
